關(guān)于光學(xué)位移平臺(tái)產(chǎn)品總結(jié)報(bào)告
KX系列光學(xué)位移平臺(tái)有超高轉(zhuǎn)動(dòng)精度,勻速穩(wěn)定性、小的軸向和徑向跳動(dòng)誤差,以及高剛性等特點(diǎn)。LX系列光學(xué)位移平臺(tái)是憑借研發(fā)團(tuán)隊(duì)的材料、結(jié)構(gòu)、仿真分析等專(zhuān)業(yè)技術(shù),對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)整體進(jìn)行不斷優(yōu)化的結(jié)果,非接觸的氣浮軸承結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦的轉(zhuǎn)動(dòng),使LX系列氣光學(xué)位移平臺(tái)達(dá)到微米以下級(jí)別的轉(zhuǎn)角精度。
光學(xué)位移平臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域
科研;工業(yè)制造;激光加工制造;電子零件生產(chǎn)、組裝;半導(dǎo)體制造、檢測(cè);平面顯示器制造、檢測(cè)
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